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大规模集成电路超纯水设备工艺

2016-05-18 09:49

我国的超极计算机已经是世界的领先水平,这其中大规模集成电路的优质功不可没。大规模集成电路超纯水设备的出水水质能达到国内外的各项标准,这要因为我国电子行业近年来的高速发展。本文将主要介绍大规模集成电路超纯水设备工艺,以及它的主要系统说明。

超纯水设备
超纯水设备

大规模集成电路超纯水设备工艺流程

为了能让设备效果佳,在其生产过程中需要很多程序。大规模集成电路超纯水设备就需要前处理、预处理、精致处理以及后处理。设备的前处理就是原水通过水箱和格兰富加泵增大压力,预处理为精密的四级系统主机为RO加EDI强强联合,最后通过紫外线杀菌器和0.5μm精密过滤器。

大规模集成电路超纯水设备主机系统

现在的设备中不只是单一用一种技术,而是多种技术相结合达到最好的结果。大规模集成电路超纯水设备也是如此,主机系统就是RO加EDI以二级反渗透(RO)纯水作为EDI给水。RO纯水电阻率一般是40-2μS/cm,EDI纯水电阻率可以高达18M.cm。

大规模集成电路超纯水设备消毒装置

为了能让出水效果能达到各项标准,大规模集成电路超纯水设备中的原水还要经过最后的消毒处理。可以用臭氧发生器或紫外线杀菌器,净化水质和异味操作简便运行费用低。紫外线杀菌是普遍采用的杀菌方式,不会产生二次污染。

随着时代的科技不断进步,各种设备在不断更新升级。大规模集成电路超纯水设备更是如此,运用的RO加EDI强强联合的设备,可以让出水水质达到电子工业部标准和ASTM标准。设备整体结构严谨自动化水平高,能智能化高效科技的运行。

超纯水设备
超纯水设备

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经典案例介绍

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